中国真的造不出光刻机吗？ASML总裁：中国永远无法模仿EUV光刻机( 三 )_众所周知

那么中国真的造不出高端EUV光刻机吗？答案是肯定的，目前我国确实造不出这样的高端EUV光刻机。虽然中ASML高调表示，即使没有美国的许可证也要卖给中国，但同时也表示：我们正在等待政府的许可证，如果最终等不到许可证，我们会将设备转卖给其他客户。由此看来，我们不仅造不出这样的高端EUV光刻机，即便想买到也没有这么容易，中芯国际订购的光刻机就是一个明显的例子。

高端EUV光刻机制造真的这么难吗？

据了解， ASML的高端EUV光刻机有80000个零部件， 13个子系统，每一个子系统都是融合了该领域最顶尖的先进的技术，更何况ASML还拥有全球独一无二的芯片曝光技术，这也是高端EUV光刻机的核心技术。 ASML之所以不怕中国模仿是因为他们把全球好几百家厂商的顶尖技术融为一体，进行了有有效的技术和系统集成，而且还在设备上安装有传感器，能够自动检测异常行为，也就是说，你要想深入研究设备的构造和组成， ASML总部就会报警。