中国真的造不出光刻机吗？ASML总裁：中国永远无法模仿EUV光刻机( 五 )
总之 ， 中国芯片产业快速发展 ， 光刻机已成为芯片产业的一只拦路虎 ， 如果我们只是一味地去模仿ASML的技术路径 ， 肯定是不行的 。 只有下定决心 ， 另辟蹊径 ， 走出一条有别于ASML的技术途径 ， 才有可能生产出真正有自主知识产权的国产光刻机 ， 无疑 ， 中科院光电所给我们做出了榜样 ， 给中国的芯片之路指明了方向 。
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