揭秘芯片制造关键一环,百亿美元市场的光刻胶产业(26)

▲不同尺寸晶圆制造中主要的光刻胶类型

目前大陆晶圆制造领域的情况为 12 寸晶圆厂集中扩建 , 8 寸厂订单满载 , 6 寸厂面临转型 。 根据国际半导体协会(SEMI)所发布的近两年全球晶圆厂预测报告显示 , 2017 年到 2020 年的四年间 , 大陆预计将有 26 座新晶圆厂投产 , 整个投资计划占全球新建晶圆厂的 42% , 成为全球新建投资最大的地区 。 整体来看目前大陆已投产12 寸线月产能达 46 万片(含外资、存储器) , 全球占比约 9%;已投产 8 寸线月产能达 66 万片(含外资) , 全球占比达 12.8% 。 2016-2020 年新增 12 寸线规划产能在 100-110 万片/月 。

▲大陆地区新建主要晶圆厂表

国内半导体行业迎来了高速发展 , 晶圆制造厂由 6 寸向 8 寸再向 12 寸不断发展 , 对于高端光刻胶的需求不断增大 。 但半导体光刻胶因技术受限 , 始终依赖进口 , 国产化率低 。 根据中国产业信息网的分析 , 适用于 6 英寸硅片的 g/i 线光刻胶的自给率约为 20% , 适用于 8 英寸硅片的 KrF 光刻胶的自给率不足 5% , 而适用于 12 寸硅片的 ArF 光刻胶完全依靠进口 。 随着大基金资金注入 , 以及国家科技重大专项(02专项)的建设 , 国内相关企业加紧研发 i 线(365nm)光刻胶、 KrF(248nm)光刻胶以及 ArF(193nm)光刻胶 , 高端光刻胶国产化刻不容缓 。

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