光刻机制造难度有多大？给你们全套图纸，也做不出来！
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在可以制作机器的这几家公司中 ， 特别以荷兰（ASML）技能最为先进 。 价格也最为高昂 。 光刻机的技能门槛极高 ， 可谓人类才智集大成的产物 。
ASML光刻机的工作原理
ASML光刻机的简易工作原理图
丈量台、曝光台：承载硅片的工作台 ， 也便是双工作台 。 一般的光刻机需求先丈量 ， 再曝光 ， 只需一个工作台 ， 而ASML有个专利 ， 有两个工作台 ， 实现丈量与曝光同时进行 。 而本次“光刻机双工件台体系样机研制”项目则是在技能上突破ASML对双工件台体系的技能垄断 。
光束纠正器：纠正光束入射方向 ， 让激光束尽量平行 。
光束形状设置：设置光束为圆型、环型等不同形状 ， 不同的光束状况有不同的光学特性 。
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