光刻机制造难度有多大？给你们全套图纸，也做不出来！( 二 )_在可以制作机器的这几家公司中

能量探测器：检测光束终究入射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。

掩膜台：承载掩模版运动的设备，运动控制精度是nm级的。

硅片：用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺度，尺度越大，产率越高。题外话，因为硅片是圆的，所以需求在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系，根据缺口的形状不同分为两种，分别叫flat、notch 。

坐落光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光资料+高质量抛光。 SMEE光刻机运用的镜片，得数万美元一块。

“相同一个镜片，不同工人去磨，光洁度相差十倍。 ”SMEE总经理贺荣明说，他在德国看到，抛光镜片的工人，祖孙三代在同一家公司的同一个职位。

世界上最贵精密仪器出厂地

附：

阿斯麦公司ASML Holding NV创立于1984年，是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制作商。前称ASM Lithography Holding N.V. ，于2001年改为现用名，总部坐落荷兰费尔德霍芬，全职雇员12168人，是一家半导体设备设计、制作及出售公司。

光刻机制造难度有多大？给你们全套图纸，也做不出来！( 二 )