铜在去离子水中的蚀刻( 二 )


下面的硅结的作用类似于光腐蚀中的结的作用 。 连接到p型结的Cu处于比连接到n型区的Cu更低的电位(因此更高易受腐蚀) , 如果向结施加偏压的话 。 向结施加偏压的一种方法是用光 。
然而 , 即使在没有光的情况下也观察到M1铜的蚀刻 , 这表明光蚀刻不是机理 。 更可能的机制是O2在连接到n型区域的Cu处消耗电子 , 从而偏置结 。
结论
【铜在去离子水中的蚀刻】我们华林科纳描述了一种新的成品率损失机理 , 它与去离子水中铜的腐蚀有关 。 在预金属化湿法清洗过程中 , 含有高浓度溶解氧的水会蚀刻通孔底部的铜 。 蚀刻在金属化后残留的Cu中产生空隙 , 导致受影响的阵列电路中的高电阻和功能故障 。 去离子水中的溶解氧浓度必须最小化 , 以防止铜的蚀刻 。

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