2021年微纳米加工技术讲习班开始了!
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微纳加工领域最受欢迎的专业培训课——“微纳米加工技术讲习班”
2021年中科院物理所微纳米加工技术讲习班时间:7月12-16日 。
讲习班课程介绍
内容:微纳米加工技术综述;光学曝光技术;电子束曝光技术;聚焦离子束加工技术;激光直写加工技术;纳米压印技术;等离子体刻蚀技术;薄膜技术;自组装加工技术;微纳米加工技术的应用 。
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微纳米加工技术讲习班由中科院物理所微加工实验室于2005年开始举办 , 旨在系统介绍微纳米加工技术的基础、应用和最新前沿进展 , 目前已成功举办11次 , 累计参加人数近4000人 , 学员来自全国各高校、科研院所和高科技公司 。
学员全程免学费 , 免费领取讲习班课程配套的专业书籍 , 并提供免费午餐 。 将有机会进入超净实验室 , 现场观摩先进微纳加工设备的操作演示 。
专家介绍
今年我们邀请到七位国内外微纳米加工及相关领域的知名专家来做专题报告:
![]() 本文图片 | ●王中林 , 中国科学院外籍院士 , 欧洲科学院院士 , 佐治亚理工学院终身教授 , 中科院纳米能源与系统研究所所长 ●报告题目: Piezotronics and Piezo-phototronics of the Third Generation Semiconductors |
![]() 本文图片 | ●崔铮 , 研究员 , 国家海外高层次特聘专家 , 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 ●报告题目: “芯片“那点事儿 |
●江南 , 研究员 , 国家海外高层次特聘专家 , 中科院宁波材料技术与工程研究所 ●报告题目: 单晶金刚石低压制备、精密加工与应用 |
![]() 本文图片 | ●陈树琪 , 教授 , 国家杰青 , “长江学者奖励计划 ”青年学者 , 南开大学物理学院 ●报告题目: 人工微结构光场调控及其应用 |
![]() 本文图片 | ●邵金友 , 教授 , 国家杰青 , 西安交通大学机械工程学院 , 副院长 ●报告题目: 微纳结构压印制造的原理、方法及其应用 |
【纳米|2021年微纳米加工技术讲习班开始了!】![]() 本文图片 | ●段辉高 , 教授 , 国家优青 , 湖南省杰青 , 湖南大学机械与运载工程学院 ●报告题目: 极端微纳制造与应用 |
●陆兴华 , 研究员, 入选中科院“百人计划” , 中科院物理研究所 ●报告题目: 微加工技术在固态纳米孔DNA测序仪研发中的应用 |
中科院物理所微加工实验室于2003年建成并开始运行 , 2008 年成为科学院“纳米材料与纳米结构加工平台” , 2009 年加入“中科院所级公共技术服务中心”和2010 年成为“基金委纳米制造重大研究计划联合实验室” , 目前微加工实验室作为面向国内外的微纳加工技术服务平台 , 已经成为国内微加工技术与学术交流和人才培养的重要基地 。

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微加工实验室团队10人组成 , 其中主任工程师3人 , 副主任工程师4人 , 工程师3人,其中中科院关键技术人才2人 , 物理所关键技术人才3人 , 是一支以青年人为主的富有活力的专业技术创新团队 。

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微加工实验室团队
承担国家科技部、基金委、科学院的重大、重点及一般科研项目30余项 , 合作发表SCI论文200余篇 , 获国家授权发明专利近30项;2015年研制纳米级长度标准样品获得国家一级标准物质认证 , 2018年获批纳米加工国家团体标准;2015年荣获北京市科学技术二等奖 , 2017年获中科院院所两级公共技术服务中心优秀集体奖 。

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2019年讲习班会场
拥有包含万级、千级和百级的近1000 平米超净实验室 , 主要装备有先进微纳加工、刻蚀、沉积、表征、测量及相关辅助设备60余台 , 微纳加工能力涵盖从微米到亚纳米 , 从零维到三维 。

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电子束高压和低压曝光系统2台(EBL)

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聚焦离子束刻蚀与沉积系统(Ga、Xe、He/Ne 离子束)3台(FIB)
微加工实验室研究方向
● 微纳人工结构的加工方法与工艺研究
● 微纳人工结构的新奇物性研究
● 微纳人工结构的器件与集成应用研究
主要研究成果简介
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为配合国内疫情管控要求 , 主办方可能会根据具体情况做出相应调整 , 如有变化 , 我们将及时通知学员 , 敬请关注 。
编辑:zhenni
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