日美光刻机大战,这位中国人帮助ASML打败日本,垄断全球市场(13)

ASML则已经有了成熟的产品 , 也已经和下游厂商过了磨合期 , 尼康的产品无人肯用 , 这也导致了一大批使用尼康产品的日本半导体厂商溃败 , 本来美国的半导体产业就已经被美国重创 , 如今更是凉凉 。

尼康在 2000 年还是老大 , 但到了 2009 年 ASML 已经市占率近 7 成遥遥领先 。 可以说垄断了光刻机市场 , 到如今ASML在光刻机市场可以说一家独大 , 加上后来不断改进的高 NA 镜头、多光罩、FinFET、Pitch-split、波段灵敏的光刻胶等技术 , 浸入式 193nm 光刻机可以生产出7nm的芯片 。

教训

在美国入股下的ASML在技术上具有前瞻性 , 而且也有敢于实验的魄力 , 帮助美国最终在光刻机大战中取得了胜利 , 在这其中 , 林本坚提出的方案可以说起到了不可替代的作用 。

以如今最先的EUV光刻机为例 , 英特尔说服了美国政府 , 由英特尔和美国能源部牵头 , 集合了当时还如日中天的摩托罗拉以及 AMD , 以及享有盛誉的美国三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔实验室 , 劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室 , 投资两亿美元集合几百位顶级科学家成立了 EUV LLC组织 , 从理论上验证 EUV 可能存在的技术问题 。

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