日美光刻机大战，这位中国人帮助ASML打败日本，垄断全球市场( 六 )_光刻指利用光化学反应原理把事先制备在

到了六十年代初，仙童半导体发明了至今仍在使用的掩膜版曝光刻蚀技术，当时的光刻技术比较简单，就是把光通过带电路图的掩膜 (Mask ，后来也叫光罩) 投影到涂有光敏胶的晶圆上。早期 60 年代的光刻，掩膜版是 1:1 尺寸紧贴在晶圆片上，而那时晶圆也只有 1 英寸大小。 IBM后来还建立了世界上第一台2英寸集成电路产线。这使得计算机具备体积更小、适用，性能更优秀的可能。

而1962年，当时国际商用机器公司，也就是IBM ，开始用集成电路来制造计算机， IBM选择了仙童半导体的光刻工艺和产线，并为IBM360计算机投入总计50亿美元，这一金额是美国研制第一颗原子弹曼哈顿工程的2.5倍。

1964年IBM在全球发布了一个系列6台计算机，起名叫做IBM360 ，这是具有划时代意义的大型电脑，是世界上首个指令集可兼容计算机。

它的巨大成功反过来推动了美国、日本等厂商的光刻技术和集成电路产业发展。 1963年，日本电气公司（NEC）自美国仙童半导体获得planar technology的授权。