三星发布GAA晶体管:3nm甚至1nm未来可期( 五 )
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三星各个工艺的时间点也不尽相同,7nm EUV工艺在2019年4月份开始量产,下半年开始推6nm工艺;5nm工艺将在2019年4月份完成开发,下半年首次流片,计划于2020年量产。4nm工艺2019年下半年完成开发,而3nm GAE工艺已经发布了1.0版PDK,预期是2021年量产。
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