阿斯麦 (ASML.US)的光刻机霸主之路( 九 )
2016 年,ASML 收购了台湾领先的电子束晶圆检测设备的半导体设备厂商 HMI,为先进工 艺提供了晶圆缺陷检测技术支持。HMI是电子束检测设备领域的老大,据全民说芯统计,其市占率高达 85%。通过此次收购,ASML 进一步拓展了 HMI 电子光束解决方案业务,自收 购 HMI以来,提供了多个模式保真度计量工具(ePfm5 系统),为客户提供了检测模式缺陷 的增强功能。2017 年,ASML 收购德国卡尔蔡司子公司 24.9%股权(据公司年报披露),布局 微影镜头关键技术。2019 年,ASML 又收购了竞争对手Mapper 的知识产权资产,进一步促 进了公司的发展。
3. 开放创新:建立开放研究网络,合理共享研发成果
ASML 与研究机构、学院、外部技术合作伙伴建立巨大开放式研究网络,共同研发与改进。ASML依托自身的资源和技术积累,主导打造了囊括研究机构、高等院校、合作伙伴的巨大 开放式研究网络,首先这使 ASML能够轻松地获得各种技术的前沿知识和技能;其次,ASML 联合研究机构和供应商共同参与设计,直接促进了产品的更新。这种开放式研究网络,用最小的成本实现了最快的技术创新,使得技术快速地更新迭代,极大地满足了客户的需求。
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