芯片制造的根基!半导体材料深度报告,详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参(13)

芯片制造的根基!半导体材料深度报告,详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参

▲正胶和负胶及其特点

从需求端来看,光刻胶可分为半导体光刻胶、面板光刻胶和 PCB 光刻胶。其中,半导体光刻胶的技术壁垒最高。

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▲按应用领域光刻胶分类

光刻胶是半导体材料中技术壁垒最高的品种之一。光刻胶产品种类多、专用性强,是典型的技术密集型行业。不同用途的光刻胶曝光光源、反应机理、制造工艺、成膜特性、加工图形线路的精度等性能要求不同,导致对于材料的溶解性、耐蚀刻性、感光性能、耐热性等要求不同。因此每一类光刻胶使用的原料在化学结构、性能上都比较特殊,要求使用不同品质等级的光刻胶专用化学品。

光刻胶一般由 4 种成分组成:树脂型聚合物、光活性物质、溶剂和添加剂。树脂是光刻胶中占比最大的组分,构成光刻胶的基本骨架,主要决定曝光后光刻胶的基本性能,包括硬度、柔韧性、附着力、耐腐蚀性、热稳定性等。光活性物质是光刻胶的关键组分,对光刻胶的感光度、分辨率等其决定性作用。

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