芯片制造的根基！半导体材料深度报告，详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参(29)
▲溅射过程示意图
溅射靶材种类繁多，依据不同的分类标准，可以有不同的类别。溅射靶材可按形状分类、按化学成份分类以及按应用领域分类。
▲溅射靶材分类
溅射靶材的应用领域广泛，由于应用领域不同，溅射靶材对金属材料的选择和性能要求都有所不同。其中，半导体芯片对靶材的技术要求最高，对金属的纯度、内部微观结构等都有极高的标准。
▲溅射靶材按应用领域分类
按生产工艺的不同，溅射靶材的制备可分为熔融铸造法和粉末冶金法。
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