芯片制造的根基!半导体材料深度报告,详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参(25)
5、 湿化学品
湿化学品(Wet Chemicals),是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料。湿化学品在半导体领域主要应用于集成电路制造过程中的清洗和腐蚀步骤,其纯度和洁净度影响着集成电路的性能及可靠性。
按应用领域划分,湿化学品主要应用于半导体、平板显示、太阳能以及 LED 等领域。其中,半导体制造领域对湿化学品的要求最高,技术难度最大。
▲湿化学品应用领域
▲按应用领域湿化学品分类
为了适应电子信息产业微处理工艺技术水平不断提高的趋势,并规范世界超净高纯试剂的标准,国际半导体设备与材料组织(SEMI)将超净高纯试剂按金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等指标制定国际等级分类标准。
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