被台积电“欺负”惨了，三星砸1160亿美元只为10年后雪耻( 六 )
荷兰ASML公司光刻机
7nm制程工艺的需求目前主要来自手机SoC芯片 ， 因为在手机市场 ， SoC芯片的制程工艺数据 ， 仍是评价移动设备性能的关键性指标 。
光刻机原理
而晶圆代工厂要实现7nm、5nm甚至更先进的制程工艺 ， 通常认为只能借助EUV（极紫外）光刻机 。
这是因为 ， 在实现7nm制程工艺过程中 ， 若采用波长193nm的DUV（深紫外）光刻技术 ， 就像用一支粗毛笔写蝇头小楷一样 ， 除非笔力深湛 ， 否则难免力不从心 ， 而EUV（极紫外）光刻机的极紫外光波长仅有13.5nm ， 堪称生产7nm以下先进工艺制程芯片的必备“神器” 。
光刻过程
目前 ， 荷兰ASML公司是全世界唯一的EUV光刻机生产商 ， 且一年最高产量只有约30台 ， 有数据显示 ， 2019年 ， 台积电采购了18台EUV光刻机 ， 三星采购了8台 ， 英特尔采购了4台 。
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