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真空泵是利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气 ， 以获得和维持真空的装置的气体输送机械 ， 它把气体从低于个大气压的环境中输送到大气中或与大气压力相同的环境中 。 真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子 ， 从而使设备内的压力低于个大气压的机器 ， 降低真空室内的气体压力 ， 使之达到要求的真空度 。 随着真空应用的发展 ， 真空泵的种类已发展了很多种 ， 其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升 。 极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围 。
化工生产中 ， 常常使用真空泵来造成某种程度的真空 ， 来实现工艺操作过程 。 例如 ， 在真空泵的抽吸作用下 ， 溶液的过滤速度加快；分离液体混合物时 ， 可使蒸馏温度下降 ， 避免高温蒸馏中可能出现的焦化及分解现象；干燥固体物料的温度降低 ， 速度加快；热管式换热器的热管抽成真空后注入蒸馏水 ， 使传热速率大大加快等 。 电子工业和国防工业往往需要更高的真空 。
由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽 ， 因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围 ， 只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求 ， 使用不同类型的真空泵 。 为了使用方便和各种真空工艺过程的需要 ， 有时将各种真空泵按其性能要求组合起来 ， 以机组型式应用 。
1、真空泵的种类
随着真空应用的发展 ， 真空泵的种类已发展了很多种 ， 其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升 。 随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽 ， 大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求 。
常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等 ， 这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种 。
2、真空泵的总体结构式与传动方式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构：
1)、立式结构：进、排气口水平设置 ， 装配和连接管路都比较方便 。 但泵的重心较高 ， 在高速运转时稳定性差 ， 故这种型式多用于小泵；
2)、卧式结构：泵的进气口在上 ， 排气口在下 。 有时为了真空系统管道安装连接方便 ， 可将排气口从水平方向接出 ， 即进、排气方向是相互垂直的 。 此时 ， 排气口可以从左或右两个方向开口 ， 除接排气管道一端外 ， 另一端堵死或接旁通阀 。 这种泵结构重心低 ， 高速运转时稳定性好 。 一般大、中型泵多采用此种结构 。 泵的两个转子轴与水平面垂直安装 。 这种结构装配间隙容易控制 ， 转子装配方便 ， 泵占地面积小 。 但泵重心较高且齿轮拆装不便 ， 润滑机构也相对复杂 。
真空泵的传动方式：真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的 。 主动轴通过联轴器与电机联接 。 在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图 。 从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动 ， 这样主动转子轴的扭转变形小 ， 则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变 ， 故使转子之间的间隙在运转过程中均匀 。 这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承 ， 增加了泵的加工和装配难度 ， 齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称 ， 泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧 。 所具有的特点：1)、在较宽的压力范围内有较大的抽速；2)、转子具有良好的几何对称性 ， 故振动小 ， 运转平稳 。 转子间及转子和壳体间均有间隙 ， 不用润滑 ， 摩擦损失小 ， 可大大降低驱动功率 ， 从而可实现较高转速；3)、泵腔内无需用油密封和润滑 ， 可减少油蒸气对真空系统的污染；4)、泵腔内无压缩 ， 无排气阀 。 结构简单、紧凑 ， 对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；5)、压缩比较低 ， 对氢气抽气效果差；6)、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面 ， 加工和检查比较困难 。
3、真空泵的工作原理
先由转动真空泵把系统抽到10-2帕扩散泵油被加热沸腾 ， 以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结 ， 待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出 ， 从而逐渐获得高真空 。
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