硬件|光刻技术的发明国却没有光刻机背后的原因( 二 )_光刻技术的发明国却没有光刻

到 1980 年代后期，日本步进供应商的主导地位让美国芯片制造商感到担忧。为了开发替代来源，英特尔与欧洲公司 Censor 合作。然而，尝试失败了，Censor 于 1984 年被卖给了 Perkin-Elmer 。
英特尔联合创始人戈登摩尔回忆了当时的担忧。“来自佳能和尼康步进机性能很好。在美国没有可比的设备，这是整个过程中非常关键的部分。”
“我们与列支敦士登的一家公司 [Censor] 有一个重要的计划来制造步进器。这非常复杂也非常昂贵，而且开发速度太慢，他们无法真正对市场产生影响。我们最终购买了日本设备，因为它是最好的，而且没有真正的替代来源。”
Shoichiro Yoshida 后来成为尼康的首席执行官，他设计了该公司第一台用于半导体制造的步进重复机器。
1990 年代，SVG 在新任命的首席执行官 Papken Der Torossian 的领导下扩展到光刻领域。SVG 曾试图收购 GCA，但交易从未实现，GCA 于 1988 年被出售给 General Signal 。
然而，Der Torossian 成功地获得了由 Perkin-Elmer 与 IBM 联合开发的下一代步进扫描系统 Micrascan——但他表示，这需要数千万的研发和两年半的时间才能完成。修复系统中的错误。结果是 Micrascan II 。
“他们的机器无法工作——平均故障间隔时间不到一小时。IBM 无法使用它。但它拥有非常好的基础技术，”他说。
Der Torrossian 解释道，现金短缺让美国丧失了保留先进光刻技术的机会。
“在 1992 年，ASML 正在大规模投入。拥有它们的飞利浦找我，并以 6000 万美元的价格出售 ASML 。我没有 6000 万美元。我告诉他们，但我会给你同等数量的股份，让我们建立一个合资企业。但他们说，‘不，飞利浦需要现金。’”
到 2001 年，ASML 扭转了局面，最终以 16 亿美元收购了美国最后一家主要的光刻公司 SVG 。由于国家安全问题，这笔交易被推迟了几个月，但在 ASML 同意剥离 SVG 的 Tinsley Labs 部门后，最终得到了乔治·W·布什政府的批准。

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