芯片制造的根基！半导体材料深度报告，详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参(20)
根据气体纯度不同，气体可分为普通气体、纯气体、高纯气体及超高纯气体 4 个等级。
半导体制造领域，一个硅片需要经过外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗、封装等多项工艺，这个过程需要的高纯电子化学气体及电子混合气高达 30 多种以上，且每一种气体应用在特定的工艺步骤中。
▲按半导体制造工艺不同气体分类
电子气体的技术壁垒极高，最核心的技术是气体提纯技术。此外超高纯气体的包装和储运也是一大难题。在半导体制造中，电子气体纯度每提升一个数量级，都会促进器件性能的有效提升。
▲按半导体制造工艺不同气体分类
为了得到超高纯气体，气体制造需要进行以下几个步骤:
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