芯片制造的根基!半导体材料深度报告,详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参(24)

随着集成电路制造产业的发展,全球集成电路用电子气体的市场规模也逐渐扩大。2018 年全球集成电路用电子气体市场规模达到 45.12 亿美元,同比增长 15.93%。

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▲全球集成电路用电子气体市场规模

电子气体纯度要求高,制备难度大,目前以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司控制着全球 90%以上的电子气体市场份额。

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▲全球电子气体生产商市占率

国内情况:2018 年国内半导体用电子特气市场规模约 4.89 亿美元。经过 30 多年的发展,我国半导体用电子特气已经取得了不错的成绩,中船重工 718 所、绿菱电子、广东华特等均在 12 英寸晶圆用产品上取得了突破,并且实现了稳定的批量供应。2018 年 5 月,中船重工 718 所举行二期项目开工仪式,2020 年全部达产后,将年产高纯电子气体 2 万吨,三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸 4个产品产能将居世界第一。

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