通过在焦点处创建高纯度纵向场,在远场800 nm波长的空气中实现分辨率为10 nm的激光材料加工( 三 )



图11:量化和修正球差的激光束处理策略 。 为了获得高质量、高纯度的纵向场 , 不仅需要消除球差 , 而且还需要优化强度分布 。 当激光束在光束路径中经过如此多的光学元件反射或透射时 , 光束模式会逐渐变差 。 图12为激光束通过光束轮廓仪照射到物镜孔径之前检测到的准直原始高斯光束与成形高斯光束的对比图 。

图12:光束整形前后激光光束轮廓的实验测量结果 。 准直a、b原始全口径高斯光束、c、d原始环形高斯光束、e、f形全口径高斯光束、g、h形环形高斯光束的比较 。 文章来源:
https://www.nature.com/articles/s41377-022-00962-x

推荐阅读