揭秘芯片制造关键一环,百亿美元市场的光刻胶产业(15)

▲光刻胶组分

随着科技的发展 , 现代电子电路越发向细小化集成化方向发展 , 随着对线宽的不同要求 , 光刻胶的配方有所不同 , 但应用相同 , 都是用于微细图形的加工 , 按照不同的下游行业主要分为 PCB 光刻胶、 面板光刻胶、 半导体光刻胶 。

▲光刻胶主要类型及应用

光刻胶作为精密制造的核心材料 , 随着微电子制程对线宽的要求极为严格 , 光刻胶主要技术参数为分辨率、 对比度、敏感度等 。 分辨率是指光刻胶可再现图形的最小尺寸 , 一般用关键尺寸来(CD , Critical Dimension)衡量分辨率 。 对比度是指光刻胶从曝光区到非曝光区过渡的陡度 。 敏感度:光刻胶上产生一个良好的图形所需一定波长光的最小能量值 。

▲光刻胶主要技术参数

5、下游应用

(1)IC 光刻胶:光刻胶顶峰

推荐阅读