芯片制造的根基!半导体材料深度报告,详解七大核心材料【附下载】| 智东西内参( 八 )
▲硅片上的芯片
按晶胞排列是否规律,硅可分为单晶硅和多晶硅。单晶硅晶胞在三维方向上整齐重复排列,而多晶硅晶胞则呈不规律排列。单晶硅在力学性质、电学性质等方面,都优于多晶硅。集成电路制造过程中使用的硅片都是单晶硅,因为晶胞重复的单晶结构能够提供制作工艺和器件特性所要求的电学和机械性质。
▲多晶和单晶结构示意图
硅片的制备从晶体生长开始,形成单晶锭后经过修整和磨削再切片,再经过边缘打磨、精研、抛光等步骤后,最后检查得到的硅片是否合格。
▲硅片制造流程
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